方案概述
單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備
禾川方案
方案特色
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視覺定位
視覺定位，進(jìn)行檢測(cè)偏差，補(bǔ)償給控制系統(tǒng)
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高重合精度
高精度，高響應(yīng)定位，控制伺服驅(qū)動(dòng)
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高像素相機(jī)
視覺實(shí)時(shí)測(cè)量晶棒生長(zhǎng)尺寸
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高速處理數(shù)據(jù)
高速PLC 承載著整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)算及執(zhí)行
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